|
|
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯 |
| CAS No.: |
85342-62-7 |
| 分子式： |
|
| 分子量： |
|
| 备注： |
中文名称N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯中文同义词甲磺酸,1,1,1-三氟-,1,3-二氧代-1H-BENZ[DE]异喹啉-2(3H)-基酯;N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯;N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸;N-羟基-1,8-萘二甲酰亚胺三氟甲烷磺酸酯;1,3-二氧代-1H-苯并[DE]异喹啉-2(3H)-基三氟甲磺酸酯;N-(三氟甲基磺酸基)-1,8-萘二甲酰亚胺;光产酸剂V;N-羟基萘酰亚胺三氟磺酸酯英文名称N-Hydroxynaphthalimidetriflate英文同义词N-HydroxynaphthalimideTriflate85342-62-7;NHN-TF;N-Hydroxynaphthalimidetriflateelectronicgrade,>=99%;(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl)trifluoromethanesulfonate;N-HYDROXYNAPHTHALIMIDETRIFLATE99+%;N-HYDROXYNAPHTHALIMIDETRIFLATE,99+%,E;1,3-dioxo-1H-benzo[de]isoquinolin-2(3H)-yltrifluoroMethanesulfonate;Methanesulfonicacid,1,1,1-trifluoro-,1,3-dioxo-1H-benz[de]isoquinolin-2(3H)-ylesterCAS号8Chemicalbook5342-62-7分子式C13H6F3NO5S分子量345.25EINECS号233-299-3相关类别光电类;光致抗蚀剂材料Mol文件85342-62-7.mol结构式N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯性质熔点212.1-214.2°C沸点456.2±55.0°C(Predicted)密度1.76±0.1g/cm3(Predicted)储存条件2-8°C溶解度在PGMEA中的溶解度为1%形态粉末晶体颜色白色至浅黄色至浅橙色InChIInChI=1S/C13H6F3NO5S/c14-13(15,16)23(20,21)22-17-11(18)8-5-1-3-7-4-2-6-9(10(7)8)12(17)19/h1-6HInChIKeyLWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-NSMILESC(F)(F)(F)S(ON1C(=O)C2=CC=CC3=CC=CC(=C23)C1=O)(=O)=OCAS数据库85342-62-7N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯用途与合成方法概述N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一种光酸发生器(PAG)，在紫外线照射下形成酸，可用于生成图案结构。它还可以通过形成酸键来调节聚合物的溶解度。用途N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯可以用来形成有图案的纳米颗粒，在半导体器件的体积制造中找到潜在的应用。它还可用于沸石的光响应性孔重开，有利于气体渗透过程的调节。紫外辐照三甲基硅基超薄纤维素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。 |
 |
|
声明：以上信息未经本网证实,仅供参考,华夏化工网不承担任何风险责任. |
|
